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担当のスウェージロック指定販売会社では、その他のオプションに対応している場合がございます。

フィルター条件:
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安全な製品の選定について:

システム設計者およびユーザーは、製品カタログの内容をすべてご覧になった上で、安全な製品の選定を行ってください。 安全にトラブルなく機能するよう、システム全体の設計を考慮して、製品をご選定ください。 機能、材質の適合性、数値データなどを考慮し製品を選定すること、また、適切な取り付け、操作およびメンテナンスを行うのは、システム設計者およびユーザーの責任ですので、十分にご注意ください。

⚠ 警告: スウェージロック製品、または工業設計規格に準拠していない部品(Swagelokチューブ継手エンド・コネクションを含む)は、他社製品との混用や互換は絶対に行わないでください。

  • 溶接リング — 溶接継手

    チューブ突き合わせ溶接継手には、溶接リングが使用できます。溶接リングは、手動溶接または円周溶接時に、溶接物の突き合わせ面の位置合わせを容易にし、溶接部で溶け、溶接物を接着します。 以下の仕様の継手を取り揃えています: サイズ:1/4~1/2 インチ 316ステンレス鋼、316Lステンレス鋼、または316L VIM-VARステンレス鋼 –28~537°C チューブ突き合わせ溶接継手には、溶接リングが使用できます。溶接リングは、手動溶接または円周溶接時に、溶接物の突き合わせ面の位置合わせを容易にし、溶接部で溶け、溶接物を接着します。

  • 超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD7Aシリーズ

    Swagelok 超高純度用ALD7Aシリーズ・バルブを使用すると、新規または既存の半導体製造装置において、デバイスのスループットを最大化するのに欠かせない流量および一貫性、アクチュエーター・スピード、使用温度範囲、クレンリネス(清浄度)を得ることができます。 Swagelok ® 超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7Aシリーズは、実績のあるALD7シリーズ・バルブを改良して現場での流量調節機能を追加したことで、製造装置環境内で直接、流量性能を精密に調節することが可能になりました。ALD7Aシリーズ・バルブは、過酷なサイクル条件下にわたって正確かつ再現性の高い流量および作動パフォー...

  • 超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD7Cシリーズ

    ALD7Cシリーズ・バルブを使用すると、バルブに起因する変動を低減することが可能になるため、高温環境や過酷なプロセス化学環境下においても、安定した流量およびタイミング性能を実現することができます。 原子層蒸着(ALD)プロセス向けの超高純度用バルブにおいて業界をリードするスウェージロック製品群に、Swagelok ® 超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7Cシリーズが新たに加わりました。メンテナンス可能なカートリッジ・バルブ・プラットフォームを採用し、材質に合金22を使用することで、高度な半導体プロセス・アプリケーションに欠かせない耐食性、耐熱性、メンテナンス性を実現しています。 温...

  • 大流量用超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD20シリーズ

    Swagelok超高純度用バルブ ALD20シリーズは、低蒸発圧プリカーサー・ガスを必要とする原子層蒸着プロセスに適した大流量用バルブです。 Swagelok ® 超高純度用バルブ(大流量用) ALD20シリーズは、ALDバルブに求められている信頼性および性能を維持しつつ、かつては対応が難しかった温度の安定性および流量も達成しています。このため、メーカーは大幅な工程変更を行うことなく、最先端技術の開発に欠かせない均一な蒸着を実現するため、さまざまな工程と低い蒸気圧の組み合わせを試すことができます。 Swagelok ALD20シリーズ・バルブの特徴: 1.2の流量係数(C v 値)を実...

  • 超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD3 / ALD6シリーズ

    Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD3/ALD6シリーズは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、最高0.62の流量係数を備えており、ALD(原子層蒸着)半導体製造に必要なプリカーサーの供給制御を行います。 Swagelok ® 超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD3/ALD6シリーズを使用すると、 半導体製造 時に蒸着チャンバー内でマイクロデバイスに1層ずつ堆積する際に使用するプリカーサー・ガスの信頼性を保ちつつ、高速供給を行うことができます。高パフォーマンスを誇るALD3/ALD6シリーズ・バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、アクチュエーター部分を含めた高温対応を特...

  • ALD(原子層蒸着)バルブ

    Swagelok超高純度用ALD(原子層蒸着)用バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、流量、高温対応性、極めて高い清浄度を備えており、最先端の半導体製造アプリケーションにおいて正確なプリカーサーの供給を実現し、デバイスの歩留まりを最大化します。 ALD用バルブ を世界に送り出してからも、スウェージロックは半導体製造装置メーカーやファブと緊密に連携し、ALDの供給制御の向上に取り組んできました。これにより急速な技術革新に対応し、開発期間を短縮し、ますます複雑化するプロセスにおいてデバイスの歩留まりを向上できるよう支援しています。Swagelok ® ALD用バルブは、製品ライ...

  • アンモニア・サンプラー

    Swagelokアンモニア・サンプラーを使用することで、液体や気化したアンモニアの作業者への曝露を最小限に抑えることができるため、無水アンモニア・サンプリングの安全性が向上します。また、サンプリング作業が標準化されることにより、サンプリング・プロセスが大幅に短縮され、工場内でアンモニア・サンプルを運搬する必要が無くなります。 無水アンモニアは、肥料、プラスチック、繊維、石油などの製造に使用されます。貯蔵タンクでのアンモニアによる応力腐食割れや製品の品質低下を防止するため、アンモニアを定期的にサンプリングし、水分の含有量が0.2~0.5%であることを確認する必要があります。 スウェージロックのク...

  • 分析計装

    スウェージロックは、プロセス流体分析に関する豊富な知識を活かして、Pre-Engineered Subsystems(PrESS)、流体システム・アセンブリー、部品など、さまざまなソリューションを提供します。また、設計、トラブルシューティング、トレーニング・サービスを通じて、幅広い流体システム・アプリケーションをサポートします。 スウェージロックがあらかじめ設計したサブシステム(Swagelokリミティッド・ライフタイム保証付き)を使用すると、さまざまな施設において流体のサンプリングおよび制御を簡素化することが可能になり、一貫性および容易な取り付けを実現します。アプリケーション・エンジニアが、...

  • 分析サブシステム(PrESS)

    Swagelok Pre-Engineered Subsystems(PrESS)は、流体システムの専門スタッフが設計と組み立てを行っており、コンパクトで精度が高く、使いやすいシステムです。 一定の設計と組み立て済みの流体サンプリング/制御サブシステムを使用すると、オペレーションの効率性や一貫性を確保することができます。Swagelok Pre-Engineered Subsystems(PrESS)を導入することで、流体サンプリング/制御システムを簡単に構築することができるため、何種類もの部品を購入して組み立てを行う手間を省くことができます。なお、PrESSには操作マニュアルが完備されていま...

  • 背圧レギュレーター、ドーム・ロード式

    ドーム・ロード式プロセス・レギュレーターは、ドループ(流量増加に伴う二次側圧力の降下)を最小限に抑え、一次側圧力や流量が変動しても、二次側圧力を一定に維持します。 背圧プロセス・レギュレーターは、レギュレーターの手動または遠隔でのオペレーションが適しているさまざまな一般産業アプリケーションに使用することができます。ドーム・ロード式プロセス・レギュレーターは、一次側圧力や流量が変動しても、二次側圧力を一定に維持します。この安定性は、設定スプリングを必要としない加圧ドーム制御メカニズムによって実現しています。 汎用性に優れた本レギュレーターは、特定のアプリケーションのニーズに合わせてカスタマイズす...

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