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超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁 CHPシリーズ エラストマー・フリー
■ 次世代PTFE製接液・接ガス部コンポーネント:超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301 に適合/■ エンド・コネクション:フレアー継手、スーパー300 タイプピラーフィッティング/■ 低いクラッキング圧力および再シール圧力
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スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ DEシリーズ 1.125 インチ集積サイズ 集積化ガス・システム用
■ 1.125 インチ集積サイズのCシール/Wシール・デザイン/■ 形状:2 ポート/3ポート/■ アクチュエーター作動型式:空気式/手動式/■ ボディに対するアクチュエーターの向きが一定のため、一貫した取り付けが可能/■ 二次側のボディの角を面取りしているため、流れの方向が一目で確認可能
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超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ
■ 空気作動式バルブ(2方タイプ/3方タイプ)、1/4 回転手動式バルブ(2方タイプ)、手動式流量調節バルブ、空気作動式流量調節バルブ(開度調節機能付き、ストローク・リミッター)、空気作動式流量調節バルブ(バイバス流量調節機能付き、トリックル・フロー)/■ 接液・接ガス部の材質:次世代PTFE/アクチュエーターの材質:ポリプロピレン/■ 超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301に適合/■ 標準のエンド・コネクション:フレアー継手、スーパー300 タイプピラーフィッティング/Flowell(フロウエル)、スペース・セーバーなど/その他のエンド・コネクションもございます/■...
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超高純度用ガス・フィルター SCFシリーズ
■ メンブラロックス®・セラミック・フィルター・テクノロジーを採用/■ エンド・コネクション:Swagelok® VCR® 面シール継手/■ 最大流量における0.003 μm のパーティクル除去率は99.9999999 % を超える/■ 最大流量:2700 std L/min
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