Swagelok^®超高純度用ダイヤフラム・バルブ、原子層プロセス用（ALD7シリーズ）

Swagelok超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7シリーズは、新規または既存の半導体製造装置のスループットを最大化するのに必要な一貫した流量、開閉スピード、使用温度範囲、クレンリネス（清浄度）を備えています。

原子層蒸着（ALD）向けのSwagelok^®超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7シリーズを使用すると、半導体製造装置メーカーやデバイス・メーカーは、製造工程の限界を克服するのに必要な一貫した流量、大流量、開閉スピード、高温性能を実現し、デバイスの歩留まりを向上させ、収益性を高めることができます。非常に優れたサイクル・ライフで、バルブ間、プリカーサーの供給間、チャンバー間で一貫したパフォーマンスを発揮します。

ALD7シリーズ・バルブの特徴：

非常に過酷なアプリケーションにおいても、数百万サイクルにわたる迅速かつ正確な供給を実現し、応答時間が最速で5msと優れたアクチュエーター・テクノロジーを採用
バルブ・ボディ材質は、スウェージロック独自の超高純度用316L VIM-VARステンレス鋼で、腐食性ガスに対する耐性に優れる
アクチュエーター部は最高使用温度150°Cに対応し、バルブは最高200°Cまで使用可能
最大0.7の流量係数（C_v値）を実現［カスタム（工場設定）バージョン（オプション）の場合、流量係数は0.5～0.7 C_v］
スウェージロックの業界標準ALDバルブと同じフットプリントながら、断熱機能を内蔵したことで反応チャンバー近くの限られたスペースを最大限に活用することが可能

ALD7シリーズ・バルブの詳細を見る

仕様

使用圧力範囲	真空～1.0 MPa
破裂時	>22.0 MPa
操作時	0.41～0.83 MPa
使用温度範囲	標準のバルブ･ボディ：0～200°C
流量係数（C_v値）	0.7（標準、工場設定）
ボディ材質	316L VIM-VARステンレス鋼
ダイヤフラム材質	コバルト基超合金
エンド・コネクション・タイプ	VCR^®面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積モデル大流量用Cシール（1.5 インチ）

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ALD7シリーズ・バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。

Мембранные клапаны для напыления с точностью до атомного слоя ALD

Характеристики: Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания; Cv в диапазоне от 0,27 до 0,62; возможность работы при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами; вариант исполнения с электронным датчиком положения привода; подходят для применения в сверхчистых системах с корпусом из нержавеющей стали 316L VIM-VAR; торцевые соединения VCR®, под приварку встык и модульные торцевые соединения для монтажа на поверхность.

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