"ALD20"の検索結果

超高純度用Swagelok ALD20シリーズ・バルブは、他のALD（原子層蒸着）用バルブよりも大きな流量に対応するため、ALDプロセスで困難な低蒸発圧プリカーサー・ガスを試すことが可能になります。 未来を見据えて ALD20バルブは、Swagelok超高純度用ALD バルブに求められている信頼性と性能を維持しつつ、かつては対応が難しかった温度の安定性と流量も達成しています。このため、メーカーはさまざまな工程と低い蒸気圧の組み合わせを試し、最先端技術の開発に欠かせない均一な蒸着を実現することができます。 大流量化／フットプリントの最小化 超高純度用ALD20バルブは、ALD バルブ...

ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインでたまり部を最小限に抑え、パージを促進することで、システム効率を向上させると共に、効率的に流れを締め切ります。さまざまなサイズや材質はもちろん、原子層蒸着（ALD）用、サーマル・イマージョン、スプリングレス・タイプなど、各種形状を選ぶことができ、高純度用途および超高純度用途でのシステム要件に適合します。 ダイヤフラム・バルブ Swagelokダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状が揃っており、高純度用途／超高純度（UHP）用途でのニーズを満たします。流量係数（Cv値）は0.20～13で、最高使用圧力は24.1 MPaです。...

Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブは高速での開閉が可能で、高温プロセスで最適なパフォーマンスを発揮します。 サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ DHシリーズは、原子層蒸着（ALD）／プリカーサー供給用途など、高温／高純度環境でバルブを完全に組み込む必要のあるアプリケーションに適しています。完全に組み込まれた高純度PFA製シートは幅広い耐薬品性を持ち、膨潤とコンタミネーションに対する耐性に優れています。ボディの流路から障害物を一掃しているため、たまり部を最小限に抑え、大流量を実現しています。 最大流量係数（Cv値）は0.60、エンド・コネクション（サイズ：...