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ALD20 バルブ 技術情報
この技術情報は、ノーマル・クローズ型Swagelok® ALD20 超高純度用バルブに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ 大流量の一貫性/■ 真空下での流れ/■ 実験室でのサイクル・テスト/■ バルブ作動の応答性に関して/■ シート部のヘリウム・リーク・テスト/■ 表面仕上げ/■ パーティクル・カウント/■ 炭化水素分析/■ 残留イオン濃度/■ 水分分析
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