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超高純度用Swagelok ALD20シリーズ・バルブは、他のALD（原子層蒸着）用バルブよりも大きな流量に対応するため、ALDプロセスで困難な低蒸発圧プリカーサー・ガスを試すことが可能になります。 未来を見据えて ALD20バルブは、Swagelok超高純度用ALD バルブに求められている信頼性と性能を維持しつつ、かつては対応が難しかった温度の安定性と流量も達成しています。このため、メーカーはさまざまな工程と低い蒸気圧の組み合わせを試し、最先端技術の開発に欠かせない均一な蒸着を実現することができます。 大流量化／フットプリントの最小化 超高純度用ALD20バルブは、ALD バルブ...

ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインでたまり部を最小限に抑え、パージを促進することで、システム効率を向上させると共に、効率的に流れを締め切ります。さまざまなサイズや材質はもちろん、原子層蒸着（ALD）用、サーマル・イマージョン、スプリングレス・タイプなど、各種形状を選ぶことができ、高純度用途および超高純度用途でのシステム要件に適合します。 ダイヤフラム・バルブ Swagelokダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状が揃っており、高純度用途／超高純度（UHP）用途でのニーズを満たします。流量係数（Cv値）は0.20～13で、最高使用圧力は24.1 MPaです。...

Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブは高速での開閉が可能で、高温プロセスで最適なパフォーマンスを発揮します。 サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ DHシリーズは、原子層蒸着（ALD）／プリカーサー供給用途など、高温／高純度環境でバルブを完全に組み込む必要のあるアプリケーションに適しています。完全に組み込まれた高純度PFA製シートは幅広い耐薬品性を持ち、膨潤とコンタミネーションに対する耐性に優れています。ボディの流路から障害物を一掃しているため、たまり部を最小限に抑え、大流量を実現しています。 最大流量係数（Cv値）は0.60、エンド・コネクション（サイズ：...

この技術情報は、ノーマル・クローズ型Swagelok® ALD20 超高純度用バルブに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ 大流量の一貫性／■ 真空下での流れ／■ 実験室でのサイクル・テスト／■ バルブ作動の応答性に関して／■ シート部のヘリウム・リーク・テスト／■ 表面仕上げ／■ パーティクル・カウント／■ 炭化水素分析／■ 残留イオン濃度／■ 水分分析

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超高純度用ALD20バルブが半導体製造を変える 大流量に対応し、熱安定性および極めて高い精度を備えたALD20バルブが、デバイス・メーカーによる新プリカーサーの試験的導入に寄与 本文は、2020年2月1日に米国スウェージロック社から発表されたプレスリリースを抄訳したものです。原文との間に内容的な齟齬がある場合には、英文が優先されます。原文については 英語版 をご覧ください。 2020年2月1日 - 流体システム・コンポーネントの製造およびソリューションを提供するスウェージロック社（本社：米国オハイオ州ソロン、会長、社長兼最高経営責任者：トーマス・F・ロジック）は、このたび、大流量に対...

■ サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能／■ 流量係数（Cv 値）：0.27 から1.7 まで／■ 最高使用温度：200°C（ALD20 の場合）／■ オプション：電気式インジケーター、光学式ポジション・センサーなど／■ 超高純度用途に適した316L VIM-VAR ステンレス鋼製ボディ／■ エンド・コネクション・タイプ：集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR ® メタル・ガスケット式面シール継手

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1つの新しいバルブが半導体製造を変える3つの理由 Matt Ferraro 半導体市場で生き残っていくのは、容易なことではありません。 半導体ウェハ製造業者は、高価な材料、腐食性ガス、極端な温度を扱う非常に複雑なプロセスにおいても、最高レベルの精度を維持しなければならないというプレッシャーを常に抱えています。 特に競争力を維持しつつ、急速に進化するテクノロジー需要にも応えなければならないといったストレスを考えると、エラーはほぼ許されません。 半導体製造装置OEMも、同様のプレッシャーにさらされています。 装置の効率性を改善し、競合他社との差を打ち出した製品を設計するには、継続的な...

半導体製造の過去・現在・未来：業界コンサルタントのカール・ホワイト氏に聞く 2020年6月23日 ムーアの法則  とは、  インテル社  の共同創立者ゴードン・E・ムーアが1965年に最初に発表した概念です。集積回路（またはマイクロデバイス）上のトランジスタの数が2年ごとに倍増する一方、コンピューティング・コストは半減するため、コンピューティング能力が指数関数的に増大するとされています。半導体業界はこのパラダイムに追いつこうと努力を重ねてきましたが、より少ないスペースでより高い処理能力を提供し続けることは容易ではありません。特に、競合他社が同じ目標に向かってしのぎを削っている場合や、技術...

半導体メーカーのデバイスの歩留まり向上を実現する、超高純度（UHP）用Swagelok ®  ALD7バルブをリリース 進化したダイヤフラム・バルブが、最高レベルの供給精度、高速開閉、数千万回を超える製造サイクルにおいても安定したパフォーマンスを提供します。 本文は、米国スウェージロック社から発表されたプレスリリースを抄訳したものです。原文との間に内容的な齟齬がある場合には、英文が優先されます。原文については  英語版  をご覧ください。 2022年8月2日 —  流体システム・コンポーネントの製造およびソリューションを提供するスウェージロック社（本社：米国オハイオ州ソロン、会長兼最高...