Swagelok® Diaphragm-Sealed Valves
Diaphragm-sealed valves minimize entrapment areas and facilitate purging with a fully swept flow path to improve system efficiency while providing effective flow shutoff. A variety of sizes, materials, and configurations, including atomic layer deposition, thermal immersion, and springless, meet the system requirements of high-purity and ultrahigh-purity applications.
カテゴリー
サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ、DHシリーズ
Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブは、原子層蒸着（ALD）やプリカーサー供給アプリケーションといった高温プロセスでの使用に適しています。
超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ、DRPシリーズ
Swagelok超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブは、超高純度の薬液供給アプリケーション向けのSEMI F57-0301に適合しています。
超高純度用大流量ダイヤフラム・バルブ、DFシリーズ
Increase cycle life with high-flow, springless diaphragm valves. No springs or threads improve cleanliness and fully swept flow path enhances purging.
集積化ガス・システム用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ、1.125インチ、DEシリーズ
CシールまたはWシール・デザインのスプリングレス・ダイヤフラム・バルブは、モジュラー・ガス・システムに組み込むことができます。
高純度／高圧用ダイヤフラム･バルブ、DL／DSシリーズ
Discover high-purity, high-pressure diaphragm valves with repetitive shutoff with a fully contained softseat stem tip, standard bottom, and panel mounting.
Diaphragm-Sealed Valves Catalogs
Locate detailed product information, including materials of construction, pressure and temperature ratings, options, and accessories.
■ 1.125 インチ集積サイズのCシール／Wシール・デザイン／■ 形状：2 ポート／3ポート／■ アクチュエーター作動型式：空気式／手動式／■ ボディに対するアクチュエーターの向きが一定のため、一貫した取り付けが可能／■ 二次側のボディの角を面取りしているため、流れの方向が一目で確認可能
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
■ 空気作動式バルブ（2方タイプ／3方タイプ）、1/4 回転手動式バルブ（2方タイプ）、手動式流量調節バルブ、空気作動式流量調節バルブ（開度調節機能付き、ストローク・リミッター）、空気作動式流量調節バルブ（バイバス流量調節機能付き、トリックル・フロー）／■ 接液・接ガス部の材質：次世代PTFE／アクチュエーターの材質：ポリプロピレン／■ 超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301に適合／■ 標準のエンド・コネクション：フレアー継手、スーパー300 タイプピラーフィッティング／Flowell（フロウエル）、スペース・セーバーなど／その他のエンド・コネクションもございます／■ カスタム・マニホールドやサブアセンブリーもございます
■ パッキンを用いておらず、耐圧部材はすべて金属／■ 使用圧力範囲：真空から24.1 MPaまで／■ 使用温度範囲：273℃から121℃まで
■ 超高純度用／■ ボディ材質：316L VIM-VAR ステンレス鋼／■ モデル：低圧型、高圧型／■ エンド・コネクション・タイプ：VCR® メタル・ガスケット式面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積モデル／■ アクチュエーター・タイプ：手動式、空気式
■ 最高使用圧力：2.06 MPa／■ 用途：締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用／■ ボディ材質：ステンレス鋼（鋳造製／鍛造製／バー・ストック製）／■ エンド・コネクション・サイズ：1/4 インチから1 インチまで、12 mmから25 mmまで
■ ボディ材質：316L VAR ステンレス鋼／■ 最高使用圧力：2.06 MPa／■ エンド・コネクション・サイズ：1/4 インチ、3/8 インチ、1/2 インチ、10 mm、12 mm
The Right Valve Can Make All the Difference
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Diaphragm-Sealed Valves
Our diaphragm-sealed valves are designed in a wide variety of sizes, materials, and configurations to meet the needs of high-purity and ultrahigh-purity (UHP) applications with flow coefficients from 0.20 up to 13 and working pressures up to 3500 psig (241 bar).
Diaphragm-sealed valves provide effective shutoff for your system flow and have a long cycle life. Swagelok’s diaphragm-sealed valve offerings include atomic layer deposition (ALD), springless for high-flow, high-performance, and modular gas systems, thermal-immersion, and ultrahigh-purity fluoropolymer. Manual, pneumatic, and locking actuator options are available.