대유량 애플리케이션을 위한 스웨즈락^® 초고순도 밸브(ALD20 시리즈)

미래를 이끄는 기술.

ALD20은 고객들이 스웨즈락의 초고순도 ALD 밸브로부터 기대하는 신뢰성과 성능을 제공할 뿐 아니라 예전에 달성하지 못한 온도 안정성과 유량에 관하여 새로운 장을 열었습니다. 따라서 제조업체들은 현재와 미래에도 앞선 기술 개발에 필요한 균일한 가스 증착을 위해 다른 공정들과 저증기압 화학물질들을 시도할 수 있게 되었습니다.

혁신적인 유량 증가. 차지하는 공간 최소화.

ALD20 초고순도 밸브는 ALD 밸브 기술의 한계를 뛰어넘기 위해 혁신적인 설계를 도입했으며, 기존 ALD 밸브 유량의 2~3배를 처리할 수 있습니다. 이는 반도체 칩 제조업체들이 공정에 큰 변화를 주지 않고도 생산량을 높이고 효율성을 개선할 수 있도록 기여합니다.

• ALD20은 기존의 ALD 밸브와 동일한 설치 공간(1.5인치)에서 1.2C_v의 유량을 전달하기 때문에, 기존의 장비를 재설비하지 않아도 성능을 개선할 수 있습니다.
• 두 번째 표준 ALD20 밸브 유형은 약간 더 큰 몸체(1.75인치)로서 사이클 수명이 매우 긴 초고순도 밸브 중 현재 가장 높은 유량 계수 1.7—를 제공합니다.
• 유량 계수는 맞춤 설정도 가능합니다.

타협할 수 없는 일관성

ALD20의 설계는 다음과 같은 주요 특징을 통해 매우 긴 수명 기간 동안 일관된 작동을 가능케 합니다:

• 밸브와 개폐기 전체가 50°F(10°C) ~ 392°F(200°C)의 가스 박스 안에서 작동 가능하므로 가열 시 개폐기를 열로부터 차단할 필요가 없습니다. 그 결과 저증기압 가스를 위한 최적 온도를 유지할 수 있어, 증착 균일성이 개선됩니다.
• 316L VIM-VAR 스테인리스강 또는 합금 22 몸체 재질 옵션은 강한 부식성 유체에 견딜 수 있도록 내식성이 강화되었습니다.
• 5마이크로인치 R_a로 표면처리된 벨로우즈는 공정 무결성을 위하여 매우 긴 수명과 함께 청정한 조업을 지원합니다.
• 공압식 개폐기는 분사량 요구에 맞추기 위해 빠른 속도(< 10ms)로 반복 개폐가 가능하며, 정밀하고 균일하게 유량을 전달할 수 있습니다.

사양