![Swagelok DH Series Thermal-Immersion Diaphragm Valves](https://www.swagelok.com/assets/images/sap-content/banners/thermal-immersion-diaphragm-valves-dh-series-1400x411.jpg)
Swagelok® Thermal-Immersion Diaphragm Valves (DH Series)
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance in high-temperature processes.
Request More InformationThe DH series thermal-immersion diaphragm valve is designed for applications where the valve needs to be entirely contained within a high-temperature, high-purity environment such as atomic layer deposition (ALD) and precursor delivery applications. Its fully contained high-purity grade PFA seat provides a broad range of chemical compatibility and excellent resistance to swelling and contamination. The fully swept flow path in the body minimizes entrapment areas and maximizes flow capacity.
Flow coefficients up to 0.60, a variety of 1/4 and 3/8 in. end connections, and pneumatically and manually actuated models—with the normally closed actuator capable of a valve opening or closing time of less than 5 ms—are available to meet a wide range of system needs. The valve is designed for optimal performance at 220°C (428°F).
Specifications
Working Pressure | Vacuum to 70 psig (4.8 bar) |
Burst Pressure | > 3200 psig (220 bar) |
Actuation Pressure | 60 to 90 psig (4.1 to 6.2 bar) |
Temperature | 20° to 220°C (70° to 428°F) |
Flow Coefficient | |
"H" type VCR® Connections | 0.60 at 20°C (70°F) 0.40 at 220°C (428°F) |
VCR and all other connections | 0.30 at 20°C (70°F) 0.21 at 220°C (428°F) |
Modular surface-mount body | 0.25 at 20°C (70°F) 0.21 at 220°C (428°F) |
Body Material | 316L VIM-VAR stainless steel |
Diaphragm Material | Cobalt-based superalloy |
End Connections | |
Type | VCR and "H" type VCR metal gasket face seal fittings, tube butt weld; modular surface mount (MSM) |
Size | 1/4 and 3/8 in. 1.125 and 1.5 in. MSM |
DH Series Thermal-Immersion Diaphragm Valves Catalogs
Locate detailed product information, including materials of construction, pressure and temperature ratings, options, and accessories.
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
![Swagelok flow coefficient (C<sub>v</sub>) calculator for valves](https://www.swagelok.com/assets/images/sap-content/featured-resources/cv-calculator-1400x610.jpg)
The Right Valve Can Make All the Difference
Use our valve flow coefficient (Cv) calculator to chose a valve sized correctly for your needs.
Use the ToolSwagelok Resources Curated for You
![Valve selection for fluid systems](https://www.swagelok.com/assets/images/sap-content/featured-cms-blocks/valve-selection-260x154.jpg)
Auswahl des richtigen Ventils für Ihr industrielles Fluidsystem
Lernen Sie, wie Sie mithilfe der STAMPED-Methode die Ventile auswählen können, die am besten für Ihre industriellen Fluid- oder Probenahmesystem-Designanwendungen geeignet sind.
![Carl White, der fast 40 Jahre lang in verschiedenen Positionen in der Halbleiterindustrie- Lieferkette gearbeitet hat, berichtet über seine Erfahrung in der Vergangengeit, der Gegenwart und der Zukunft der Fortschritte in der Halbleiterindustrie.](https://www.swagelok.com/assets/images/sap-content/featured-cms-blocks/semiconductor-carl-white-260x154.jpg)
Q&A: Halbleiterherstellung: Vergangenheit, Gegenwart und Zukunft
Erfahren Sie, wie die Zusammenarbeit zwischen Halbleiterwerkzeug-OEMs, Microchip-Herstellern und Fluidsystem-Lösungsanbietern es möglich gemacht hat, dass der Halbleitermarkt bereits seit Jahrzehnten mit den Anforderungen des Mooreschen Gesetzes schritthalten kann und wie die Zukunft aussieht.
![Swagelok Fluidsystemkomponenten sind in Werkstoffen erhältlich, die so entwickelt wurden, dass sie in Halbleiterfabriken dauerhafte Leistung liefern..](https://www.swagelok.com/assets/images/sap-content/featured-cms-blocks/semiconductor-cleanroom-260x154.jpg)
Verbessern Sie die Halbleiterleistung mit optimierten Legierungen
Entdecken Sie, wie Halbleiterhersteller End-to-End-Produktionsleistung und die Langzeitprofitabilität durch die Auswahl der richtigen Metalle für wichtige Fluidsystemkomponenten verbessern können.
![Reinraum-Zusammenbau eines Swagelok ALD20 UHP Ventils für die Halbleiterindustrie](https://www.swagelok.com/assets/images/sap-content/featured-cms-blocks/new-ald20-valve-260x154.jpg)
Ein neues Ventil Drei Gründe, warum es die Halbleiterherstellung ändern könnte
Erfahren Sie, wie die neuesten Innovationen in der Atomschichtsedimentierungs (Atomic Layer Deposition - ALD) Ventiltechnologie die Hich-Tech-Halbleiter-Herstellung ändern.