text.skipToContent text.skipToNavigation
Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты, серия ALD7

Мембранные клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (серия ALD7)

Клапаны Swagelok серии ALD7 сверхвысокой степени чистоты обеспечивают стабильный расход и пропускную способность, быструю отработку, температурные параметры и уровень чистоты, помогающие увеличить выпуск чипов при использовании новых или имеющихся инструментов для производства полупроводников.

Запросить информацию о клапанах ALD7

Мембранный клапан Swagelok® серии ALD7 для атомно-слоевого осаждения (ALD) дает возможность производителям полупроводников и изготовителям микросхем увеличить выход годной продукции, повысить рентабельность, обеспечить постоянство рабочего процесса при высоких температурах, что необходимо для преодоления ряда технических ограничений. Клапаны обеспечивают стабильность характеристик всех клапанов, во всех камерах и в дозировании в течение сверхвысокого циклического срока службы.

Клапан ALD7 от Swagelok:

  • Обеспечивает быстрое и точное дозирование в течение миллионов циклов для самых строгих требований, и отличается усовершенствованной технологией со временем отклика всего 5 мс
  • Устойчив к воздействию агрессивных газов благодаря корпусу из запатентованной сверхчистой нержавеющей стали Swagelok 316L VIM-VAR
  • Возможность нагрева до 200°C при сохранении максимальной рабочей температуры пневматического привода ниже 150°C
  • Обеспечивает коэффициент расхода (Cv) до 0,7 (доступны версии с индивидуальной заводской настройкой, обеспечивающие коэффициент расхода 0,5–0,7 Cv)
  • Размеры аналогичны стандартным ALD-клапанам Swagelok, при этом оснащен встроенным термоизолятором для максимального использования ограниченного пространства возле реакционной камеры

Клапаны ALD7, увеличенное изображение

Технические характеристики клапана ALD7

Рабочее давлениеОт вакуума до 145 psig (10,0 бар ман)
Давление разрыва> 3200 psig (220 бар ман)
Давление срабатыванияОт 60 до 120 psig (от 4,1 до 8,27 бар ман)
Номинальная температураСтандартный корпус клапана: от 32°F (0°C) до 392°F (200°C)
Коэффициент расходаСтандартный коэффициент расхода 0,7 Cv (устанавливается в заводских условиях)
Материалы корпусаНерж. сталь 316L VIM-VAR
Материал мембраныСпециальный сплав на основе кобальта
Торцевые соединенияТип: Фитинги VCR®, соединение под приварку встык, C-образное модульное уплотнение размером 1,5 дюйма с высоким расходом для монтажа на поверхность

Есть вопросы о клапанах ALD?

Свяжитесь с нашими специалистами

Каталоги клапанов серии ALD7

Получите подробные сведения о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.

Vannes et manifolds pour dépôt par couche atomique

Comment résoudre les principaux problèmes inhérents aux procédés ALD et ALE

Les procédés ALD et ALE de fabrication des semi-conducteurs peuvent s’avérer délicats et comportent des difficultés qui leur sont propres. Découvrez comment y remédier avec des vannes soigneusement choisies.

Sélectionner des vannes adaptées au procédé de dépôt par couche atomique

Les ressources de Swagelok sélectionnées pour vous

Les composants pour systèmes fluides Swagelok sont disponibles dans des matériaux conçus pour résister durablement aux environnements de fabrication des semi-conducteurs.
Améliorer les rendements de fabrication des semi-conducteurs avec des alliages optimisés

Découvrez comment les fabricants de semi-conducteurs peuvent améliorer leurs rendements de fabrication d’un bout à l’autre de la chaîne et accroître leur rentabilité à long terme en choisissant les bons métaux pour les composants de leurs systèmes fluides critiques.

Carl White, qui a passé près de 40 ans à travailler à divers niveaux de la chaîne d’approvisionnement du secteur des semi-conducteurs, apporte son point de vue de spécialiste sur l’évolution passée, actuelle et à venir de ce secteur.
Q&R : le passé, le présent et l’avenir de la fabrication des semi-conducteurs

Découvrez comment la collaboration entre des équipementiers du secteur des semi-conducteurs, des fabricants de puces et des fournisseurs de solutions pour systèmes fluides a permis au marché de tenir le rythme imposé par la loi de Moore pendant des décennies, et ce que nous réserve l’avenir.

Rosendahl Nextrom et Swagelok collaborent pour maximiser l’efficacité opérationnelle
Un fabricant d’équipements pour le secteur des fibres optiques gagne en efficience grâce à des solutions sur mesure

Depuis les années 1980, Rosendahl Nextrom s’appuie sur Swagelok pour développer ses activités. Découvrez les solutions qui ont permis à l’entreprise de devancer ses concurrents et de rester leader dans son secteur.

Компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем.
Надежные решения в жидкостных и газовых системах для новых научно-исследовательских возможностей

Узнайте, почему финская компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем, которые способствуют развитию сферы квантовых вычислений, экспериментальной физики и других направлений.

This process may take several minutes. Please be patient and remain on the page.